产品图片 |
产品特点 |
结净的真空 罗茨泵与油旋片真空泵、水环泵组合用,可在压力1.3×103~1.3×10-1Pa范围内提高抽气速率。NB系列罗茨泵是专为洁净度要求较高的场合而设计的。 |
用途 |
照明、电子、光学、半导体 |
参数表 |
我的位置 |
备注 |
*1 用皮拉尼真空计测量的值,如用麦氏真空计测量,则为4.0×10-2Pa(3.0×10-4Torr),而NB1200A则为6.7×10-2Pa(5.0×10-4Torr)。 *2 电源为AC380V、50Hz、三相。 *3 随粗抽泵的性能而变化,表中为标准泵的组合的数据。 *4 NB300A、NB600A、NB1200A可分别选购1.5kW、3.7kW、5.5kW的大容量电机。 *5 对于530Pa(4Torr)以下可用空冷,但530Pa(4Torr)以上进行连续运转必须用水冷。 *6 冷却水温为5~30℃。 |