上海广树机电有限公司
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高温化学气相沉积碳镀膜机特点：
采用多层隔板设计，批量处理模压光学镜片的碳镀膜工艺，每炉可放数千个镜片；
智能化PLC程序升温程序，真空程序，CVD进气程序，操作简单方便；
X质干式真空泵，杜绝油液污染，可选择国产干式泵和进口干式泵；
智能化CVD进气控制系统，适应于氮气、乙炔/甲烷、氩气、空气的通入和混合；
X的密封系统，泄漏率低，长期使用稳定性高；
高温化学气相沉积碳镀膜机详细资料：
主要用途
适用于模压非球面光学玻璃镜片的碳镀膜工艺；
适应于半导体行业晶圆表面薄膜生长；
可用于陶瓷及单晶体表面沉积碳纳米管工艺；
产品技术参数
产品型号：GS-30-700广树
X高温度： 700℃；
使用气氛： 氮气、氩气、空气、二氧化碳、乙炔、甲烷、合气体；
长期使用：400-700℃；
波 动 度： ±1℃；
显示精度： 0.1℃；
均 匀 度： 容积30L；
进气流量：三路MFC质量流量计控制，一路浮子流量计控制；
升降系统： 两套伺服升降系统平台；
控制系统：智能程序化PLC控制系统；
真空泵真空度： 极限真空1Pa；
腔内真空度：≤10Pa；
降温要求：外置冷却风机，降温阶段强制降温；
整机功率： 18KW；
电 源 ： 380V, 50Hz；
水冷装置：X质水冷机,PLC联机控制
保护装置： 过载、过流、过压保护，接地，热电偶异常报警，X二回路X温报警保护装置；冷却水温保护，压
力过载保护；
技术服务： 提供设备使用过程中的技术咨询和支持，接到客户故障通知3个工作时内立即响应。
