全自动晶圆减薄抛光一体机GNX200B_OKAMOTO
OKAMOTO全自动晶圆减薄抛光一体机GNX200B特点:。
机械精度的调整方法:通过主轴进行调整,因为可进行原点定位,所以精度调整相当容易;可2处调节。
标准驱动方式:齿轴+定位销进行定位,长年使用也不会发生位移。
标准润滑方式:润滑油及防护罩,防止进入异物造成磨损。
设备刚性:高刚性,不会因老化造成精度变化,部件由自产铸金一体化生产。
全自动晶圆背面减薄机研磨机GNX200B规格:
规格 GNX200B
加工直径 Ф200
轴承旋转数 0~3600min-1
轴承驱动电机 2.2/4 Kw/P
轴承进给速率 1~999μm/min
主轴数 2
工作轴旋转数 1~300min-1
轴承尺寸(外径) Ф250
质量 3900mm
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