UV紫外臭氧清洗过程提供一种简单,经济,快速获得X洁净的表面,去除大多数无机基材(比如石英,硅片,金,镍,铝,砷化镓,氧化铝*等)上的有机污染物。特别是当基材和薄膜蒸镀需要很好的粘接时,紫外清洗非常理想。获得X洁净的表面,只需要在传统清洗后,再用紫外臭氧清洗过程几分钟就可以啦。
紫外臭氧清洗可以去除:
皮肤油脂,有机硅油和油脂,助焊剂,残留的光刻胶,胶水溶剂,碳等。
怎样说是“X”洁净?
接触角测量方法4-5度。适用AES和ESCA测量细微的峰值。使用蒸汽测试,在冷凝和蒸发时形成一致的彩虹装的条纹。通常情况下,使用清洗或是X声清洗工序后,清洁关键表面认为完成。紫外臭氧清洗提供一种新的清洗尺度。在传统清洗工序后加入紫外清洗的应用,产品的性能和可靠性的提升不断的证明这种新的清洗尺度的价值。
紫外臭氧清洗工作原理:
UVOCS清洗设备的核心是低压石英汞灯,产生254和185nm范围的紫外线。臭氧和等离子氧气产生,有机污染物分子在吸收254nm波长紫外线后被激发或分解。激发的有机污染物可以和等离子氧原子反应形成气体,比如CO2,H2O等。整个过程在室温**发生,并且只需要1到几分钟完成。
*注1:白色氧化铝暴露在UV能量下会变黄。这种现象是由于基材吸收UV能量, 而不是一种涂层。这种氧化铝在加热情况下会转化为他原来的颜色。
**注2:清洗元件温度的上升取决清洗过程的时间长度。在大多数应用,元件温度可以视为室温。
关键特性:
·间歇式灯泡工作方式。灯和定时器通过关闭门来触发。
·滑行部件托盘-光滑-低震动,滚珠轴承系统-高度到1.5英寸。
·坚固耐用,全部不锈钢结构
·长寿命。低压石英水银蒸汽灯发射254nm和185nm UV,促进快速氧化,去除微量的有机残留物。
·全面UV保护让设备操作更安全。
·更低设备采购成本和操作成本。
·0-999秒/分钟/小时定时器,能够X控制。灯和定时器通过门关闭来触发。
·臭氧排气护罩:UVOCS托盘型号有一个臭氧护罩,可以允许UVOCS清洁设备放在你的生产线或是设备,和过程相关设备放在一起。这会使得材料的再污染X小化。一个3英寸排气出口内置在护罩的后面,可以连接到你的排气系统。没有提供排气风扇。X小排气量需求为100CFM.(立方英尺/分钟)
·在操作过程结束时有蜂鸣声。
·UV "ON"指示灯和可见窗口。
·操作简单:设定定时器,打开门,抽出托盘,将元件放在托盘上。将托盘滑入并关闭门。在清洗操作过程结束有蜂鸣声。打开门,移开全部的清洗元件。
UVOCS紫外清洗机 | |||||||
型号 | T10x10/OES | T16x16/OES | |||||
光照尺寸 | 10" x 10" (25.4×25.4cm) | 16" x 16" (40.6×40.6cm) | |||||
X面积: | 100 sq. in. | 256 sq. in. | |||||
宽: | 14" | 20" | |||||
深: | 23 3/4" | 29 3/4" | |||||
高: | 14.5" | 14.5" | |||||
托盘推出深度: | 33" | 46" | |||||
滑行托盘: | 1 | 1 | |||||
结构: | 箱体和托盘为不锈钢结构 | ||||||
功耗: | 110Vac / 60Hz 5A Max or 230Vac / 50Hz 2.5 amp Max | ||||||
臭氧排气系统: | 有臭氧排气系统 | ||||||
排气口尺寸: | 3" 直径 | ||||||
排气需要: | 100cfm | 100cfm | |||||
定时器: | 在开始或结束时峰鸣 | ||||||
"ON"指示器: | 有 | 有 | |||||
公司 | 深圳市慧烁机电有限公司 http://www.wisbay.cn | ||||||
联系人 | 黎先生(销售工程师) | 联系电话 | 0755-86215125-803 | ||||
手机 | 13760341082 | 传真 | 0755-86215195 | ||||
MSN | nicepowell@hotmail.com | 249387718 | |||||
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