产品介绍: | 测量范围: 1nm~4000nm; 测量X小值: ≤1nm; 镀膜折射率范围: 1.300-10000 入射角: 40°~90° 误差≤0.05°; 偏振器方位角范围: 0°~180°; 偏振器步进角: 0.0375°/步; 仪器测量精度: 在10nm处误差为±0.5nm; 光学中心高度: 75㎜; 允许样品尺寸直径: Φ10~Φ120㎜,厚度≤10㎜; 外形尺寸: 730 x230X 290; 主机重量: 30kg; 近代科学技术的许多学科对各种薄膜的研究和应用日益广泛。因此,X地测定薄膜厚度和光学参数已变得更加迫切和重要。在实际工作中虽然可以利用各种传统的方法测定光学参数,但椭圆偏振法具有X特的X点。这种方法测量灵敏度和精度较高,并且是非破坏性测量。它能同时测定薄膜的厚度和折射率。因而,目前椭圆偏振法测量已在光学、半导体、生物、医学等方面得到较为广泛的应用。 | |
产品特点: | 本仪器分为光源、接收器、主机、电子及通讯四部分,外观参看右图。 1、光源:采用波长为632.8nm的氦氖激光光源①其特点是:光强大、光谱纯、波长稳定性好。 2、接收器:采用光电倍增管⑤,把光讯号变为电讯号,经放大后输出至微机, 由微机选择出消光位置的角度值。 3、主机部分:除以上两项外,还有起偏组件②,样品台③,检偏组件④。 4、电子及通讯部分⑥:采集光强及对应的角度值并传输到计算机, 再接收由计算机发出的指令逐步靠近消光点。 ■仪器采用消光式椭圆偏振方式测量,具有精度高、自动控制等特点。 ■光源采用氦氖激光,波长精度高 ■仪器采用USB接口与电脑连接,配套软件对采样数据具有多种处理方式适用于不同需要, 同时软件有完整版及学生版两种版本适于教学要求。 成套性 主机,USB接口,软件(需配计算机) |